利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，裂解工業廢氣如:氨、三甲 胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醍、乙酸丁酯、乙酸乙酯、二甲二硫、二 硫化碳和苯乙烯、硫化物H2SVOC類、苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構，使有 機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，降解轉變成低 分子化合物，如C02、H20等。UV氧化廢氣處理裝置采用高能紫外線破壞、分 解大分子鏈為小分子鏈，再利用臭氧和羥基自由基氧化、催化劑進行催化氧化 ,使有機物變為水和二氧化碳，以達到去除有機物的目的。